阴极蒸发器

摘要

本发明涉及一种阴极蒸发器，其包括蒸发室(2)、阴极元件(3)、阳极(4)、以及用于对阴极元件(3)上电弧进行引导的磁性引导系统。磁性引导系统包括磁极(14)和带有端面(12a)的外周磁极(12)。所述端面(12a)与阴极元件(3)之间的距离(A)至少为20mm。

主权项

一种阴极蒸发器，其包括：蒸发室(2)，其被用于容纳着要被进行镀覆的部件或表面(1)；阴极组件，其包括阴极元件(3)；以及阳极(4)，阴极组件及阳极的结构和位置被设置成这样：使得阴极元件(3)与阳极(4)之间可建立起电弧，以使得阴极元件(3)至少部分地蒸发，阴极组件还包括磁性引导系统，用于对阴极元件(3)上的电弧进行引导，所述磁性引导系统包括：磁性装置，其包括中央磁极(14)和外周磁极(12)；以及至少第一磁场发生器和第二磁场发生器，它们被用于产生各自的磁场分量，两磁场分量有助于形成对应于阴极元件(3)的总磁场，至少所述的第一磁场发生器至少包括第一线圈(13)，其围绕着磁性装置的至少一个部分(14b)进行布置，并被用于在所述磁场装置中产生对应的磁场分量，从而，通过改变流经所述第一线圈(13)的电流，可改变对应于所述阴极元件(3)的所述总磁场，外周磁极(12)的端面(12a)被设计成这样：使得第一磁场发生器与第二磁场发生器产生的对应于所述端面(12a)的磁场的强度大于对应于磁性装置邻近表面的磁场；其特征在于：所述端面(12a)与阴极元件(3)之间的距离A至少为20mm。