一种带喷淋管的扩散炉

摘要

一种带喷淋管的扩散炉，包括圆柱形石英管的反应室、设于该反应室一端的自动炉门、设于反应室内下部的石英舟。该石英舟的上方沿反应室的轴向设置一喷淋管，其一端封闭另一端穿出反应室的壁体，位于反应室内喷淋管的轴段朝上的一侧沿喷淋管的轴向开有一排小孔；石英舟的下方沿反应室的轴向设置一排气管，其一端与反应室内部相通，另一端穿出反应室的壁体。本实用新型反应室内的气体密度均匀分布，并且充分均匀的与硅片接触，从而保证扩散元素的分布均匀稳定，在硅片内均匀地生成PN结，并有比较一致的方块电阻。

主权项

一种带喷淋管的扩散炉，包括圆柱形石英管的反应室(1)、设于该反应室一端的自动炉门(2)、设于反应室(1)内下部的石英舟(3)，其特征在于：所述石英舟(3)的上方设有一喷淋管(4)，该喷淋管沿反应室的轴向设置，其一端用石英堵头(8)封闭、另一端穿出反应室的壁体，位于反应室内喷淋管的轴段朝上的一侧沿喷淋管的轴向开有一排小孔(7)；所述石英舟(3)的下方设有一根排气管(6)，该排气管沿反应室的轴向设置，其一端与反应室内部相通、另一端穿出反应室的壁体。