单晶硅炉传动装置

摘要

本发明属于一种单晶硅炉传动装置，该传动装置分为主轴升降装置和主轴旋转装置，主轴升降装置和主轴旋转装置并排设置，主轴旋转装置和主轴升降装置并排位于滑座上。本发明将主轴升降和旋转运行分离，能有效保持主轴平稳和密封运行，以大幅度提高硅籽晶的质量，还具有结构简单，制作使用成本低，维修和使用简便效果好的优点。

主权项

一种单晶硅炉传动装置，主要由主轴、丝杆、导柱和旋转电机所组成，其特征在于：该传动装置分为主轴升降装置和主轴旋转装置，主轴升降装置和主轴旋转装置并排设置，主轴旋转装置和主轴升降装置并排位于滑座上，所述的主轴升降装置包括导柱、丝杆轴承、上下固定座、丝杆、滑座、套座和快速升降机构，导柱上下端分别固定在上下固定座上，滑座通过直线轴承与导柱滑配并与丝杆通过快速升降机构内的丝杆传动母螺接，丝杆下端呈T形，丝杆上端通过丝杆轴承与上固定座轴接，丝杆下端顶托在轴碗上且其T形端穿过轴碗与谐波减速器的输出端相接，谐波减速器的输入端通过传动轮与电机轴相接，快速升降机构位于丝杆与滑座之间；所述的主轴旋转装置包括主轴、轴承、连接固定法兰盘、轴头水套、波纹管、磁流体密封件、轴心水套和旋转电机，丝杆与主轴平行设置，主轴下部通过轴承轴接在主轴升降装置侧边的滑座内，轴承座上端的主轴与对应的滑座之间用磁流体密封件真空密封，主轴上端穿过固定法兰盘中部位于炉体内，固定法兰盘下端设有轴头水套，轴头水套下端至磁流体密封件之间的主轴段密封在波纹管中，轴承座下端的主轴上设有带轮，固定在对应滑座上的旋转电机通过皮带传动带轮。