| 发明名称 | 半导体太阳能镀膜工艺腔室的承受器 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种半导体太阳能镀膜工艺腔室的承受器，包括加热层以及设置在加热层上端的热量分配层，其特征在于：在所述的热量分配层上端还设置有一可拆卸的表面层。所述的表面层为石墨层。在所述的加热层下端还设置有底部背板层。与现有技术相比，本实用新型在承受器的加热层最上层放置一表面层，当金属氧化膜沉积到一定量，影响镀膜效果时，可以将表面层拆下，换另一个表面层，十分便捷且不不要付出大量的劳动力，同时，采用石墨的表面层，石墨具有良好的热传递性能。 | ||
| 申请公布号 | CN201708179U | 申请公布日期 | 2011.01.12 |
| 申请号 | CN201020179748.X | 申请日期 | 2010.05.05 |
| 申请人 | 江苏综艺光伏有限公司 | 发明人 | 张浩;尤长林;李长江 |
| 分类号 | H01L31/20(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人 | 张惠忠 |
| 主权项 | 一种半导体太阳能镀膜工艺腔室的承受器，包括加热层以及设置在加热层上端的热量分配层，其特征在于：在所述的热量分配层上端还设置有一可拆卸的表面层。 | ||
| 地址 | 226300 江苏省通州市兴东镇综艺数码城 | ||