多齿β-酮亚胺盐的金属络合物

摘要

本发明涉及多种含金属多齿β-酮亚胺盐络合物，其中一个实施方案由以下结构表示：其中M为例如钙、锶、钡、钪、钇、镧、钛、锆、钒、钨、锰、钴、铁、镍、钌、锌、铜、钯、铂、铱、铼和锇的金属，其中R¹选自具有1-10个碳原子的烷基、氟代烷基、环脂基和芳基；R²选自氢、烷基、烷氧基、环脂基和芳基；R³为直链或支链的并选自烷基、氟代烷基、环脂基和芳基；R⁴为亚烷基桥；R^5-6每个为直链或支链的并选自烷基、氟代烷基、环脂基、芳基，并且它们可以连接形成含有碳、氧或氮原子的环；n为等于金属M的化合价的整数。

主权项

1.一种含金属的络合物，作为化学气相沉积或原子层沉积的前体，其由选自以下A、B和C的结构表示：其中M为2-5价的金属基团，其中R¹选自具有1-10个碳原子的烷基；R²选自氢和烷基；R³选自烷基；R⁴为C_2-3亚烷基桥；R^5-6独立地选自烷基；n为等于金属M的化合价的整数；其中M为选自钛、锆、铪、钒、铌和钽的金属离子；其中R¹选自具有1-10个碳原子的烷基；R²选自氢和烷基；R³选自烷基；R⁴为C_2-3亚烷基桥；R^5-6独立地选自烷基；R⁷选自烷基；并且其中m和n至少为1，并且m和n的和等于金属M的化合价；和其中M为碱土金属，其中R¹选自具有1-10个碳原子的烷基；R^2-3独立地选自氢和烷基；R^4-5独立地为C_2-3亚烷基桥；R^6-7独立地选自烷基；并且X为氧或者被氢或烷基取代的氮。