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发明名称
SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号
KR20100135823(A)
申请公布日期
2010.12.27
申请号
KR20107023178
申请日期
2009.04.16
申请人
HIRAAKI CO., LTD.
发明人
TAKAKI TAKESHI;HIRAAKI TAISEI;NAKASHIMA KUNIHIKO
分类号
C23C14/34;B22F3/10;C04B35/453;C23C14/08
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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