发明名称 METHOD OF MAKING SEPARATE SIDEWALL OXIDATION OF A FLASH MEMORY CELL
摘要
申请公布号 EP1535337(B1) 申请公布日期 2010.12.15
申请号 EP20030793794 申请日期 2003.09.03
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SHUM, DANNY
分类号 H01L21/8247;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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