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发明名称
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申请公布号 JP4591134(B2) 申请公布日期 2010.12.01
申请号 JP20050070413 申请日期 2005.03.14
申请人 发明人
分类号 C23C14/04;H05B33/10;H01L51/50;H05B33/14 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
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