| 发明名称 |
A METHOD OF MICROMINIATURIZING A NANO-STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1974369(A4) |
申请公布日期 |
2010.11.24 |
| 申请号 |
EP20060851505 |
申请日期 |
2006.12.28 |
| 申请人 |
CHEN, CHUNG-CHIN;LIN, MING-NUNG |
发明人 |
LIN, MING-NUNG |
| 分类号 |
H01L21/335;H01L29/06;H01L29/12;H01L47/00 |
主分类号 |
H01L21/335 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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