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发明名称 SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR DEVICE AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号 EP2088628(A4) 申请公布日期 2010.11.17
申请号 EP20070832020 申请日期 2007.11.16
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 HARADA, SHIN;MASUDA, TAKEYOSHI
分类号 H01L21/04;H01L21/02;H01L29/04;H01L29/24;H01L29/78 主分类号 H01L21/04
代理机构 代理人
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