| 主权项 |
一种传送设备，其系与一个用于在次大气压力下处理工件之工具一起使用，该传送设备系包括有：a)一或多个工件隔绝载荷锁定装置，其系用于从一高压区域处一次传送复数个工件至一低压区域并且回到该高压区域，其中各载荷锁定装置接受一加压及抽真空循环，以便将该等复数个工件传送于该高压区域及该低压区域之间；b)一个缓冲装置，其系于该载荷锁定装置之连续的加压及抽真空循环期间，被维持在低压，该缓冲装置用于在低压下将复数个工件储存在该缓冲装置内可触及而能被自动传送进入及离开该缓冲装置的位置中；以及c)一个机械臂，其系包括复数个可独立操作之具有一共同枢转轴的传送臂，用于将该等工件从该工件载荷锁定装置处传送至该缓冲装置或一个被维持在该低压下之工件处理站。根据申请专利范围第1项所述之传送设备，其额外包括有一个工件对准器，其系用于控制被移动通过该工件隔绝载荷锁定装置之工件的对准。根据申请专利范围第1项所述之传送设备，其中，该缓冲装置系以一大致上平行的构型储存有复数个薄晶圆，而使其可为该机械臂所触及。根据申请专利范围第1项所述之传送设备，其中，该隔绝载荷锁定装置系包括有：一个载荷锁定装置外壳，其系包括有一个用于使一载荷锁定装置外壳内部通气至大气的第一通道，以及一个用于降低在该载荷锁定装置外壳内部内之压力的第二通道；一个台座支承件，其系用于将一个晶圆支承为使其被置放在该外壳内部内的支承件上；一个侧边进口，其系开启及关闭以容许工件能够被插入载荷锁定装置外壳内部之中，用以置放在台座支承件上；以及一个启动器，其系用于抬高及降低该台座支承件，并从而移动该工件于该外壳内部之内。根据申请专利范围第4项所述之传送设备，其中，该载荷锁定装置外壳系包括有诸壁部，其等界定出一个包括有该侧边进口的第一内部区域以及一个与可为该机械臂所触及之一低压区域相互流体连通的第二内部区域。根据申请专利范围第5项所述之传送设备，其中，该台座之一表面系形成有一个沿着该等壁部之接触区域的密封件，用以维持在介于该载荷锁定装置内部之该第一及第二内部区域间的压力隔绝。根据申请专利范围第1项所述之传送设备，其中，该隔绝载荷锁定装置系包括有：一个载荷锁定装置外壳，其系包括有一个用于将一载荷锁定装置外壳内部暴露至大气的第一阀体，以及一个用于将一载荷锁定装置外壳内部暴露至一真空区域的第二阀体；以及一个工件支承件，其系在该工件已被移动通过该第一或第二阀体而进入外壳内部之后，用于将一工件支承在该外壳内部内。一种传送设备，其系与一个用于在次大气压力下处理工件之工具一起使用，该传送设备系包括有：a)一个外壳，其系界定出一个低压区域，用于在低压区域内处理被置放在一工件处理站处之工件；b)复数个工件隔绝载荷锁定装置，其系用于从一高压区域处一次传送一或二个工件至一低压区域以进行处理并且在该处理后传送回到该高压区域，其中该等载荷锁定装置经过一加压及抽真空循环，以便将该等一或二个工件传送于该高压及该低压之间；c)一个第一机械臂，其包括复数个可独立操作之具有一共同枢转轴的传送臂，用于将低压区域内之工件从该载荷锁定装置处传送至该低压区域内之一处理站；以及d)复数个其他机械臂，其等系被定位在该低压区域外，用于在工件处理前将工件从工件的一来源处传送至复数个工件隔绝载荷锁定装置，并且在该处理后将工件从复数个工件隔绝载荷锁定装置传送至该工件之一目的地；及e)一低压缓冲装置，其系于该载荷锁定装置之连续的加压及抽真空循环期间，被维持在低压，该缓冲装置用于在低压下将复数个工件储存在该缓冲装置内可触及而能被自动传送进入及离开该缓冲装置的位置中。根据申请专利范围第8项所述之传送设备，其中，该来源以及该目的地系为一个能够保持住复数个工件的单一储存装置。根据申请专利范围第8项所述之传送设备，其额外包括有一个工件对准器，其系用于控制被移动通过该工件隔绝载荷锁定装置之工件的对准。根据申请专利范围第8项所述之传送设备，其中，该缓冲装置系以一大致上平行的构型储存有复数个薄晶圆，而使其可为该机械臂所触及。根据申请专利范围第8项所述之传送设备，其中，该隔绝载荷锁定装置系包括有：一个载荷锁定装置外壳，其系包括有一个用于使一载荷锁定装置外壳内部通气至大气的第一通道，以及一个用于降低在该载荷锁定装置外壳内部内之压力的第二通道；一个台座支承件，其系用于将一个晶圆支承为使其被置放在该外壳内部内的支承件上；一个侧边进口，其系开启及关闭以容许工件能够被插入载荷锁定装置外壳内部之中，用以置放在台座支承件上；以及一个启动器，其系用于抬高及降低该台座支承件，并从而移动该工件于该外壳内部之内。根据申请专利范围第12项所述之传送设备，其中，该载荷锁定装置外壳系包括有诸壁部，其等界定出一个包括有该侧边进口的第一内部区域以及一个与可为该机械臂所触及之一低压区域相互流体连通的第二内部区域。根据申请专利范围第13项所述之传送设备，其中，该台座之一表面系形成有一个沿着该等壁部之接触区域的密封件，用以维持在介于该载荷锁定装置内部之该第一及第二内部区域间的压力隔绝。根据申请专利范围第8项所述之传送设备，其中，该隔绝载荷锁定装置系包括有：一个载荷锁定装置外壳，其系包括有一个用于将一载荷锁定装置外壳内部暴露至大气的第一阀体，以及一个用于将一载荷锁定装置外壳内部暴露至一真空区域的第二阀体；以及一个工件支承件，其系在该工件已被移动通过该第一或第二阀体而进入外壳内部之后，用于将一工件支承在该外壳内部内。 |
