发明名称 METHOD FOR FORMING VIA HOLE USING DAMASCENE PROCESS
摘要
申请公布号 KR100990934(B1) 申请公布日期 2010.10.29
申请号 KR20030051783 申请日期 2003.07.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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