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发明名称 Schreibverfahren mit geladenem Partikelstrahl, Verfahren zum Erfassen der Position einer Referenzmarkierung für ein Beschreiben mit geladenem Partikelstrahl, und eine Schreibvorrichtung mit geladenem Partikelstrahl
摘要
申请公布号 DE102010011155(A1) 申请公布日期 2010.10.21
申请号 DE20101011155 申请日期 2010.03.12
申请人 NUFLARE TECHNOLOGY INC. 发明人 YOSHITAKE, SHUSUKE
分类号 H01J37/304;G03F1/76;G03F1/78;G03F7/20;H01J37/30;H01L21/027;H01L23/544 主分类号 H01J37/304
代理机构 代理人
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