发明名称 工件分离方法和设备
摘要 本发明包括用于工件分离的方法和设备,其中借助于辐射,特别是借助于激光辐射,从一个工件上分离至少一个部件,且其中辐射在交互作用区中作用于工件上,使得工件的区域被研磨、形状改变和/或被分离;其中从交互作用区和/或其附近接收光强,并且光强被光电传感器转换为电信号,且其中,利用电信号确定出何时结束处理过程。
申请公布号 CN101862908A 申请公布日期 2010.10.20
申请号 CN201010188022.7 申请日期 2010.04.06
申请人 肖特公开股份有限公司;肖特太阳能控股公司 发明人 德克·弗奇;阿尔布雷希特·塞德;克劳斯·格斯特纳;托尔斯滕·格拉尔
分类号 B23K26/36(2006.01)I;B23K26/42(2006.01)I;B23K26/02(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 主分类号 B23K26/36(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 邹璐;樊卫民
主权项 一种处理工件和从工件分离部件的方法,包括以下步骤:将辐射引导至在交互作用区中的工件之上,以研磨工件的材料,从而改变工件形状或从工件中分离部件,接收来自交互作用区和/或其附近的光,将接收到的光转换为电信号,分析所接收的电信号以确定何时结束处理过程。
地址 德国美因兹