微孔阵列结构体和使用该微孔阵列结构体的微型复合元件的制备方法

摘要

本发明提供一种制备孔阵列结构体的方法，其包括：第一步骤，在基底上层压能够产生塑性形变的可变形层，所述基底在其上表面形成有多个相互间隔的凹陷，以使所述可变形层在所述多个凹陷的每个凹陷中形成相互隔离的空间；以及第二步骤，通过在所述可变形层上引起塑性形变，将所述多个凹陷的每个凹陷中的所述空间延伸，使得形成分别与所述多个凹陷相对应的柱状孔。

主权项

一种制造孔阵列结构体的方法，包括：第一步骤，在基底上层压能够产生塑性形变的可变形层，所述基底在其上表面形成有多个相互隔离的凹陷，使得所述可变形层在所述多个凹陷的每个凹陷中形成相互隔离的空间；以及第二步骤，通过在所述可变形层中产生塑性形变，将在所述多个凹陷的每个凹陷中的所述空间延伸，使得形成分别与所述多个凹陷相对应的多个柱状孔，其中，所述第二步骤包括将层压在所述基底上的所述可变形层外面的空间的压力降低的步骤，所述材料层的所述塑性形变由所述多个凹陷中的气体压力引起。