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发明名称 GAS MODULATION TO CONTROL EDGE EXCLUSION IN A BEVEL EDGE ETCHING PLASMA CHAMBER
摘要
申请公布号 EP2240957(A2) 申请公布日期 2010.10.20
申请号 EP20090705169 申请日期 2009.01.16
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 FANG, TONY;KIM, YUNSANG;BAILEY, ANDREW, D.;RIGOUTAT, OLIVIER
分类号 H01L21/3065;H01J37/32 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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