使用放电电极的薄膜制造装置和太阳能电池的制造方法

摘要

本发明提供一种可抑制膜厚分布或膜质分布的产生的放电电极、薄膜制造装置及太阳能电池的制造方法。放电电极具备彼此大致平行地向X方向延伸的两根横结构(20)、设于这两根横结构(20)之间、且彼此大致平行地向Y方向延伸的多个纵结构(21a)。纵结构(21a)具备：将一端部(35a)连接在一个横结构(20)上、将另一端部(35b)连接在另一个横结构(20)上的电极主体(35)、配置于气管收容空间(36)的气管(41)、多孔体(40)。开口部(38)向着基板(8)开口且用多孔体(40)封闭。气体扩散通路(37)连接气管收容空间(36)和开口部(38)。电极内侧面(39)面对气管收容空间(36)并且和管外侧面(42b)对置。喷嘴孔群(42c)沿Y方向配设于气管(41)上且向着和电极内侧面(39)的气体扩散通路(37)相反侧的部分(39a)。

主权项

一种放电电极，具备：彼此大致平行地向第1方向延伸的两根横结构；和设于所述两根横结构之间、且彼此大致平行地向与所述第1方向大致垂直的第2方向延伸的多个纵结构，所述多个纵结构各自具备：将第1端部连接在一个所述横结构上、将所述第1端部的相反侧的第2端部连接在另一个所述横结构上的电极主体；配置于设在所述电极主体内部的气管收容空间中的气管；和多孔体，所述电极主体具备向着保持基板的对向电极开口的第1开口部、设于所述气管收容空间及所述第1开口部之间并连通所述气管收容空间和所述第1开口部的气体扩散通路，所述第1开口部由所述多孔体封闭，所述气管具备自所述气管的管内侧面起贯通至管外侧面的喷嘴孔群，所述气管、所述气管收容空间、所述气体扩散通路和所述第1开口部向所述第2方向延伸，所述电极主体具备面对上述气管收容空间且和所述管外侧面对置的电极内侧面，所述喷嘴孔群沿所述第2方向配设在所述气管上。