发明名称 太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统
摘要 本实用新型的目的是提供一种太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统,属于太阳能硅片表面微处理技术领域,涉及一种在太阳能硅片清洗制绒过程中的新型加热控温系统。该系统包括有用以实现太阳能硅片制绒目的的加热槽,设置在前述的加热槽中用于加热的加热管,与加热管相连通,通过调节流进加热管的电流大小来实现控温功能的温控器。该系统采用了新型加热控温系统,可以有效地控制在太阳能硅片制绒的过程中,加热槽的工艺温度精度,及稳定性。并且有效地提高了设备的工作能力,单台每小时可处理2400片硅片以上,同时还保证了单晶硅绒面制作的质量。该系统硬件改造结构简单,在不增加成本的基础上,使得生产工艺获得提升。
申请公布号 CN201601137U 申请公布日期 2010.10.06
申请号 CN200920073285.6 申请日期 2009.06.02
申请人 上海圣微电子科技发展有限公司 发明人 孙世刚
分类号 H01L31/18(2006.01)I;G05D23/20(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统,其特征在于,该系统包括有如下组成部分:加热槽,它是用以实现太阳能硅片制绒目的的槽体;加热管,它是电热型管状加热结构,设置在前述的加热槽中;温控器,它与前述的加热管相连通,是用来控制加热管温度的温度控制器。
地址 200433 上海市中山北路3856弄2号中环大厦2311室