钯铬溅射薄膜高温压力传感器

摘要

本实用新型涉及钯铬溅射薄膜高温压力传感器，包括接管嘴、膜片组件、转接座、壳体和插座，膜片组件包括蓝宝石膜片以及设置在蓝宝石膜片的薄膜层；薄膜层由内到外依次包括经离子束溅射形成的第一绝缘层、第二绝缘层、应变电阻层、补偿电阻层、焊盘层和保护层；第一绝缘层为Ta2O5薄膜，所述第二绝缘层为SiO2薄膜，应变电阻层为PdCr13薄膜，补偿电阻层为Pt薄膜，焊盘层为Au薄膜，保护层为Al2O3薄膜。本实用新型解决了现有高温压力传感器测量范围有限、可靠性差、测量复杂程度高的技术问题。本实用新型结构的传感器具备了高温环境下工作的能力。

主权项

一种钯铬溅射薄膜高温压力传感器，包括接管嘴(1)、膜片组件(2)、转接座(3)、壳体(4)和插座(5)，其特征在于：所述膜片组件(2)包括蓝宝石膜片(21)以及设置在蓝宝石膜片(21)的薄膜层；所述薄膜层由内到外依次包括经离子束溅射形成的第一绝缘层(22)、第二绝缘层(23)、应变电阻层(24)、补偿电阻层(25)、焊盘层(26)和保护层(27)；所述第一绝缘层(22)为Ta2O5薄膜，所述第二绝缘层(23)为SiO2薄膜，所述应变电阻层(24)为PdCr13薄膜，所述补偿电阻层(25)为Pt薄膜，所述焊盘层(26)为Au薄膜，所述保护层(27)为Al2O3薄膜。