发明名称 电浆放电装置与其组合设备
摘要
申请公布号 TWI331486 申请公布日期 2010.10.01
申请号 TW095139390 申请日期 2006.10.25
申请人 馗鼎奈米科技股份有限公司 发明人 洪昭南;徐逸明;梁国超;王俊尧;李志勇;王亮钧;陈俊钦;陈彦政
分类号 H05H1/34 主分类号 H05H1/34
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 一种电浆放电装置,至少包含:一外壳体,具有一腔室、一进气通道及一放电通道,其中该进气通道和该放电通道系分别连通至该腔室,该进气通道系用以导入一工作气体至该腔室中,而在该腔室内产生一电浆,该电浆系经由该放电通道释放出;一内电极,设置于该外壳体之该腔室内;一介电质层,包覆于该内电极之侧面;以及一电极绕线,绕设于该介电质层之外围。如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中该电浆系藉由通电至该外壳体和该内电极而产生。如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中该电浆系藉由通电至该电极绕线和该内电极而产生。如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中该外壳体之材质系导电材料。如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中该外壳体之材质系金属。如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中该电极绕线之材质系导电材料。如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中该电极绕线之材质系绝缘材料。如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中该电极绕线之材质系半导体材料。如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中该放电通道系呈长条形。如申请专利范围第9项所述之电浆放电装置,其中经由该放电通道所释放出之该电浆系呈长条状。如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中该进气通道和该放电通道系相互对准。如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中该介电质层之材质系玻璃。如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中该介电质层之材质系石英。如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中该介电质层之材质系陶瓷。如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中该工作气体系利用一气体供给装置来输入至该外壳体之该腔室内。如申请专利范围第1项所述之电浆放电装置,其中该电浆放电装置系一常压电浆放电装置。一种电浆放电装置的组合设备,至少包含:复数个电浆放电装置,其中每一该些电浆放电装置至少包含:一外壳体,具有一腔室、一进气通道及一放电通道,其中该进气通道和该放电通道系分别连通至该腔室,该进气通道系用以导入一工作气体至该腔室中,而在该腔室内产生一电浆,该电浆系经由该放电通道释放出;一内电极,设置于该外壳体之该腔室内;一介电质层,包覆于该内电极之侧面;以及一电极绕线,绕设于该介电质层之外围。如申请专利范围第17项所述之电浆放电装置的组合设备,其中该电浆系藉由通电至该外壳体和该内电极而产生。如申请专利范围第17项所述之电浆放电装置的组合设备,其中该电浆系藉由通电至该电极绕线和该内电极而产生。如申请专利范围第17项所述之电浆放电装置的组合设备,其中该外壳体之材质系导电材料。如申请专利范围第17项所述之电浆放电装置的组合设备,其中该外壳体之材质系金属。如申请专利范围第17项所述之电浆放电装置的组合设备,其中该电极绕线之材质系导电材料。如申请专利范围第17项所述之电浆放电装置的组合设备,其中该电极绕线之材质系绝缘材料。如申请专利范围第17项所述之电浆放电装置的组合设备,其中该电极绕线之材质系半导体材料。如申请专利范围第17项所述之电浆放电装置的组合设备,其中该放电通道系呈长条形。如申请专利范围第25项所述之电浆放电装置的组合设备,其中经由该放电通道所释放出之该电浆系呈长条状。如申请专利范围第17项所述之电浆放电装置的组合设备,其中该进气通道和该放电通道系相互对准。如申请专利范围第17项所述之电浆放电装置的组合设备,其中该介电质层之材质系玻璃。如申请专利范围第17项所述之电浆放电装置的组合设备,其中该介电质层之材质系石英。如申请专利范围第17项所述之电浆放电装置的组合设备,其中该介电质层之材质系陶瓷。如申请专利范围第17项所述之电浆放电装置的组合设备,其中该工作气体系利用一气体供给装置来输入至该外壳体之该腔室内。如申请专利范围第17项所述之电浆放电装置的组合设备,其中该些电浆放电装置系属常压电浆放电装置。
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