| 摘要 |
<p>【課題】各動力装置を制御器に接続させることができ、制御器によりそれぞれ各動力装置の動作を駆動し、各動力装置を同時に組み合わせ動作させる必要がなく、操作が簡易で、作業効率を向上させたアライメントステージを提供する。【解決手段】底台１と、Ｙ軸ガイド部材２と、第１ユニットと、第１動力装置４と、Ｘ軸ガイド５と、第２移動ユニット６と、第２動力装置７と、Θ軸ガイド部材８と、第３移動ユニット９と、接続ロッド１０と、第３動力装置１１とを含む。第１移動ユニットは、Ｙ軸ガイド部材に移動可能に設けられ、第１動力装置とＸ軸ガイド部材と連動する。第２移動ユニットは第２動力装置と、第３移動ユニットは第３動力装置とそれぞれ連動する。【選択図】図３</p> |
