| 发明名称 | 底部抗反射涂料组合物 | ||
| 摘要 | 提供了可显影底部抗反射涂料组合物。 | ||
| 申请公布号 | CN101835735A | 申请公布日期 | 2010.09.15 |
| 申请号 | CN200880113002.4 | 申请日期 | 2008.10.21 |
| 申请人 | AZ电子材料美国公司 | 发明人 | F·M·霍利亨;宫崎真治;M·O·奈塞尔;A·D·迪奥赛斯;J·E·奥伯兰德 |
| 分类号 | C07C55/02(2006.01)I;C07C211/03(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/09(2006.01)I;G03F7/11(2006.01)I | 主分类号 | C07C55/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 王健 |
| 主权项 | 至少包含第一层和第二层以及可有可无的存在于第一层下的第三层的多层体系，其中所述第一层含有光酸产生剂并且可以进一步包含基本上不溶于所述第二层的溶剂的酸或热酸产生剂，所述第一层的光酸产生剂基本上不溶于所述第三层的溶剂。 | ||
| 地址 | 美国新泽西 | ||