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发明名称 CHEMISCHER IN SITU GENERATOR UND VERFAHREN
摘要
申请公布号 DE60044739(D1) 申请公布日期 2010.09.09
申请号 DE2000644739 申请日期 2000.01.04
申请人 RONAL SYSTEMS CORP. 发明人 BAR-GADDA, RONNY
分类号 C23F1/02;H05H1/46;B01J19/08;C01B7/01;C01B7/19;C01B17/76;C01B21/068;C01B21/26;C01B21/30;C01B33/02;C23C16/448;C23C16/452;G03F7/42;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/311;H05H1/24 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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