发明名称 |
老化板和老化试验方法 |
摘要 |
本发明提供一种试验用半导体运送盘及使用它的老化板、老化试验方法及半导体的制造方法,可将多个半导体(IC封装等)在试验中成批处理。通过将半导体运送盘(40)安装在老化板(22)的外壳(25)的容纳部(27)中后关闭盖体,可以在所述老化板(22)上设置多个半导体(10)。通过将这种状态的老化板(22)装入老化试验装置,可以对多个所述半导体(10)进行成批试验。因此,可以一次检查比以往更多的半导体(10),而不象以往那样需要使半导体(10)和保持它的插座一对一。 |
申请公布号 |
CN1847859B |
申请公布日期 |
2010.09.01 |
申请号 |
CN200610068222.2 |
申请日期 |
2006.03.20 |
申请人 |
阿尔卑斯电气株式会社 |
发明人 |
添田薰;内田将 |
分类号 |
G01R1/02(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I;G01R31/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
G01R1/02(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 72002 |
代理人 |
胡建新 |
主权项 |
一种老化板,其特征在于,具有:半导体运送盘,具有平面矩阵状地配置的多个收容部,该收容部用于装载并保持半导体;基体基板,在表面上配置了多个接点电极;中继基板,配置在所述基体基板上,在该中继基板的上侧接点片和下侧接点片上分别具备多个弹性接点;以及盖体,与所述基体基板对置地配置,所述半导体运送盘拆装自由地设置在所述中继基板和盖体之间。 |
地址 |
日本东京都 |