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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE60044639(D1) 申请公布日期 2010.08.19
申请号 DE20006044639 申请日期 2000.12.01
申请人 NXP B.V. 发明人 WOERLEE, PIERRE H.;SCHMITZ, JURRIAAN;MONTREE, ANDREAS H.
分类号 H01L21/336;H01L29/423;H01L21/265;H01L21/768;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/417;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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