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发明名称 SUBMIKRONE METALLISIERUNG UNTER VERWENDUNG ELEKTROCHEMISCHER BESCHICHTUNG
摘要
申请公布号 AT477353(T) 申请公布日期 2010.08.15
申请号 AT19990954748T 申请日期 1999.10.05
申请人 SEMITOOL, INC. 发明人 CHEN, LINLIN;GRAHAM, LYNDON;RITZDORF, THOMAS;FULTON, DAKIN
分类号 C25D5/02;C25D5/10;C25D5/18;C25D7/12;C25D21/12;C25D21/14;H01L21/288;H01L21/768;H05K3/42 主分类号 C25D5/02
代理机构 代理人
主权项
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