| 发明名称 |
NOVEL COPPER(I) PRECURSORS FOR CHEMICAL DEPOSIT IN GAS PHASE OF METALLIC COPPER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0966474(B1) |
申请公布日期 |
2010.08.11 |
| 申请号 |
EP19980914918 |
申请日期 |
1998.03.13 |
| 申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE |
发明人 |
DOPPELT, PASCAL,CNRS |
| 分类号 |
C07F1/08;C07F7/08;C23C16/18;H01L21/285 |
主分类号 |
C07F1/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
