波长扫描装置

摘要

一种光谱测量技术领域的波长扫描装置，包括：步进电机、联轴器、转盘、多面反射镜、光栅座、光栅、光源、会聚透镜、分束镜组或整形镜、位置敏感探测器和处理电路，其中：步进电机的转轴与联轴器固定连接，联轴器依次与转盘和光栅座相连接，多面反射镜固定在转盘外侧面的圆周上，光栅固定设置于光栅座上，光栅的刻划面的中心位于转轴的轴线上，光源、会聚透镜和分束镜组或整形镜依次先后设置并朝向多面反射镜，位置敏感探测器设置于光源经多面反射镜反射的反射光路上并与处理电路相连接以接收反射光斑。本发明通过对光栅的运动情况进行进行高精度测量，实现既高精度又快速的波长扫描测量要求。

主权项

一种波长扫描装置，包括：光栅转动部分以及与之相对设置的光栅转动角度测量部分，其特征在于：所述的光栅转动部分包括：步进电机、联轴器、转盘、多面反射镜、光栅座和光栅，其中：步进电机的转轴与联轴器固定连接，联轴器依次与转盘和光栅座相连接，多面反射镜固定在转盘外侧面的圆周上，光栅固定设置于光栅座上，光栅的刻划面的中心位于转轴的轴线上；所述的光栅转动角度测量部分包括：光源、会聚透镜、位置敏感探测器、处理电路以及分束镜组或整形镜，其中：光源、会聚透镜以及分束镜组或整形镜依次先后设置，并朝向多面反射镜，位置敏感探测器设置于光源经多面反射镜反射的反射光路上并与处理电路相连接以接收反射光斑。