平板式布气装置

摘要

本实用新型涉及一种平板式布气装置，用于连续式PECVD系统。它包括一种平板式布气装置，包括一个布气罐、一个进气管和一个布气板，所述布气罐中心螺孔与所述进气管的外螺纹中心旋配，实现进气管的出口与布气板的距离可调；所述布气板与布气罐之间是四个螺栓连接；所述布气板上均布小孔，该均布的小孔按所在径向位置改变直径，使得气流流量有所补偿，实现气流的均匀性分布。本实用新型的平板式布气机构提高了光伏电池薄膜的成膜速率和大面积均匀性，并可获得较好的太阳能的转化率。

主权项

一种平板式布气装置，包括一个布气罐(1)、一个进气管(2)和一个布气板(3)，其特征在于所述布气罐(1)中心螺孔与所述进气管(2)的外螺纹中心旋配；所述布气板(3)与布气罐(1)之间是四个螺栓(4)连接；所述布气板(3)上均布小孔，该均布的小孔按所在径向位置改变直径。