基板的处理系统、传输系统和传输方法以及横向移动室

摘要

本发明提供了一种基板的处理系统、传输系统和传输方法以及横向移动室，其包含二或多个工艺模块、一基板搬运装置、一装卸室、以及一横向基板处理装置。横向基板处理装置包含横向移动室，用以将基板运送至工艺模块。在运送基板时，各横向移动室维持具有一特定气体条件。横向基板处理装置另包含一轨道与一驱动系统，轨道是用来支撑横向移动室并设于工艺模块入口的邻近处，驱动系统用来使横向移动室在轨道上移动。

主权项

一种用来处理基板的系统，其包含：一或多个横向移动室，其可在二或多个工艺模块之间移动，并将一或多个基板运送给至少一该二或多个工艺模块，其中当各该横向移动室在所述工艺模块之间移动或将该一或多个基板运送给所述工艺模块时，该横向移动室维持具有一特定的气体条件。