| 发明名称 | 机械手臂的末端执行器及其制作方式 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种可提供晶片较大的摩擦力的机械手臂的末端执行器，其具有一平板用以承载晶片。在平板的两端且对齐晶片的边缘之处设置有多个凸块，每一个凸块均具有一个接触面用以直接接触晶片的背面。其中，每一接触面的中心线平均粗糙度均介于约20微寸到约50微寸之间。由于接触面的粗糙度较大，故可提供晶片较大的摩擦力。 | ||
| 申请公布号 | CN101770969A | 申请公布日期 | 2010.07.07 |
| 申请号 | CN200810187787.1 | 申请日期 | 2008.12.31 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 林钧潮;张永欣;李肇耿;廖维贞;赖明志;张伟;梁新胜 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 陈红 |
| 主权项 | 一种机械手臂的末端执行器，其特征在于，至少包含：一平板，用以承载一晶片；以及多个凸块，分别设置于该平板的两端且对齐该晶片的边缘之处，每一该凸块具有一接触面用以直接接触该晶片的背面，每一该接触面的中心线平均粗糙度均介于约20微寸到约50微寸之间。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号 | ||