阵列测试装置和测量其基板上点位置的方法

摘要

公开了一种阵列测试装置和测量阵列测试装置的基板上点的位置的方法。该阵列测试装置包括支撑待测试基板的测试部分、测试模块和位置指示部件。测试模块设置在阵列测试装置上以完成至少水平移动，且设置有至少一个调制头部以检测设置在测试部分上的基板的缺陷部分。位置指示部件与调制头部相邻，从对应于调制头部的传送路径的测试部分横向延伸，且具有基准位置标记和至少一个相邻位置标记。调制头部设置有照相机组件，其包括基准照相机和至少一个相邻照相机。利用基准照相机对基准位置标记进行照相，并且相邻照相机照相相邻位置标记。

主权项

一种阵列测试装置，包括：支撑待测试基板的测试部分；测试模块，设置在所述阵列测试装置上以至少实现水平移动，并且设置有至少一个调制头部以检测设置在所述测试部分上的基板的缺陷部分；和位置指示部件，与所述调制头部相邻，从对应于所述调制头部的传送路径的测试部分横向延伸，且具有基准位置标记和至少一个相邻位置标记，其中，所述调制头部设置有包括基准照相机和至少一个相邻照相机的照相机组件，并且其中，所述基准照相机照相所述基准位置标记，所述相邻照相机照相所述相邻位置标记。