液体喷射头及其制造方法、液体喷射装置和执行元件装置

摘要

本发明提供一种可抑制压电元件的变位特性的偏差的液体喷射头、液体喷射装置、执行元件装置及液体喷射头的制造方法。所具备的压电元件(300)具有：第一电极(60)、压电体层(70)和第二电极(80)，在与形成有压电体层(70)的区域对置的区域形成的第一电极(60)具有：第一导电层(61)、和由杨氏模量比第一导电层(61)小的材料构成且比第一导电层(61)形成在流路形成基板(10)侧的第二导电层(62)，对在与未形成压电体层(70)的区域对置的区域形成的第一电极(61)而言，第一电极(60)的表面由第二导电层(62)构成。

主权项

一种液体喷射头，其特征在于，具备压电元件，该压电元件具有：在形成了压力发生室的流路形成基板的上方设置的第一电极、与所述压力发生室的每个对应设置的压电体层、和在该压电体层的上方设置的第二电极；在与形成有所述压电体层的区域对置的区域形成的第一电极具有：第一导电层、和由杨氏模量比该第一导电层小的材料构成且比所述第一导电层形成得靠近所述流路形成基板侧的第二导电层；对在与未形成所述压电体层的区域对置的区域形成的所述第一电极而言，该第一电极的表面由所述第二导电层构成。