二自由度精密定位工作台

摘要

本发明公开了二自由度精密定位工作台，它包括基座、动平台、连接在基座底部的刚性支架以及连接在动平台和基座之间的四个柔性支链，每一柔性支链包括一个移动块和三组柔性板簧结构，每一柔性板簧结构均由二个一字形柔性板簧构成，其中第一、第二组柔性板簧结构的分别位于所述的移动块的左右两侧；第三组柔性板簧结构的两个一字形柔性板簧的下端与移动块的上端侧壁相连，并且其上端与动平台的侧壁相连，四个压电陶瓷驱动器分别水平放置，每个驱动器的球形接头顶在移动块下端侧壁上，二个位置传感器的导电片分别连接在刚性支架的上平面和动平台的下平面上。此定位工作台可作为纳米压印光刻定位系统的辅助定位平台，实现微量进给和精密定位。

主权项

二自由度精密定位工作台，其特征在于：它包括基座、设置在所述的基座中间的动平台、连接在所述的基座底部的一个刚性支架以及连接在所述的动平台和基座之间的四个柔性支链，以所述的动平台的两个对称轴为中心线，所述的四个柔性支链分别上下和左右对称的设置在所述的动平台四周，每一所述的柔性支链包括一个移动块和三组柔性板簧结构，每一所述的柔性板簧结构均由二个相互平行成并联结构的一字形柔性板簧构成，这三组柔性板簧结构中，其中第一、第二组柔性板簧结构的分别位于所述的移动块的左右两侧，设置在所述的移动块左侧的第二组柔性板簧结构的两个一字形柔性板簧的右侧壁与移动块的左侧壁相连并且其左侧壁与基座内壁相连，设置在所述的移动块右侧的第一组柔性板簧结构的两个一字形柔性板簧的左侧壁与移动块的右侧壁相连并且其右侧壁与基座内壁相连；所述的第三组柔性板簧结构的两个一字形柔性板簧的下端与所述的移动块的上端侧壁相连，并且其上端与动平台的侧壁相连，与所述的第三组柔性板簧结构的两个一字形柔性板簧的上端相连的动平台侧壁与所述的移动块的上端侧壁平行设置，四个压电陶瓷驱动器分别水平放置，每个压电陶瓷驱动器尾部均由螺栓固联于基座上并且前端通过螺纹连接有球形接头，所述的球形接头顶在移动块下端侧壁上，二个位置传感器的导电片分别连接在刚性支架的上平面和动平台的下平面上，连接于刚性支架的上平面的两个导电片中的一个导电片的对称轴与刚性支架上平面的上下边缘中线重合，另一个导电片的对称轴与刚性支架上平面的左右边缘中线重合，连接于动平台下平面的两个导电片与刚性支架上的两个导电片彼此相对平行设置。