电路图案检查装置及电路图案检查方法

摘要

本发明的目的在于，提供可确实且容易检测电路基板的不良的电路检查装置。作为解决问题的手段，本发明是在检查至少端部配设为行状的检查对象图案时，在检查对象图案(15)的两端部边保持与图案离开指定距离的状态边以横过图案的方式使检查信号供给电极(35)与检查信号检测感测电极(25)移动，以同样与检查对象图案电容耦合的感测电极来检测从供给电极(35)通过电容耦合而供给检查对象图案(15)的检查信号，在检测信号值较指定范围小的情况，则判定为图案断线，而在检测信号值较指定范围大的情况，则判定为图案短路。

主权项

一种电路图案检查装置，其向在检查对象区域以指定宽度形成棒状且两端附近形成行状的多个导电性图案中的一个检查对象图案供给交流的检查信号，并检测来自上述检查对象图案的信号以检查上述检查对象图案，其特征为具备：供给机构，具有供给电极用于向上述检查对象图案的一端部供给上述检查信号；检测机构，其具有的感测电极宽度至少是上述检查对象图案两行程度的宽度，感测电极分别与被供给有上述检查信号的上述检查对象图案、及被供给有上述检查信号的上述检查对象图案的邻接检查对象图案电容耦合；以及移动机构：上述供给电极与上述检查对象图案之间保持指定的距离，同时横过移动于上述检查对象图案，通过与上述检查对象图案电容耦合顺次地供给检查信号，上述感测电极与上述检查对象图案之间保持指定的距离，同时横过移动于上述检查对象图案，通过与上述检查对象图案电容耦合顺次地检测来自上述检查对象图案及上述邻接检查对象图案的信号；上述移动机构为，当上述供给电极位于供给有上述检查信号的上述检查对象图案的一端部时，上述感测电极的一部分位于该被供给有检查信号的上述检查对象图案的另一端部，并且上述供给电极移动过上述检查对象图案一个间距量的期间，上述感测电极移动过上述检查对象图案一个间距量；通过上述感测电极由上述检查对象图案及上述邻接检查对象图案得到的检测信号，检测上述检查对象图案断路或短路导致的不良。