发明名称 Halbleitereinkristallproduktionsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE112008001913(T5) 申请公布日期 2010.06.17
申请号 DE200811001913T 申请日期 2008.07.02
申请人 SUMCO TECHXIV CORP. 发明人 SUDA, AYUMI;MITANI, NAOJI
分类号 C30B29/06;C30B15/00 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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