| 摘要 |
本创作系一种点测装置，用以对晶圆上的LED晶粒进行点测，该点测装置包括一支架、一悬臂及一探针，其中该支架系能接收一电源供应器传来之电流，邻近该支架一端的位置分别设有一第一导电接点及一立柱，且邻近该支架另端的位置设有一第一枢接部，该悬臂一端设有一第二枢接部，其另端设有一夹座，邻近该悬臂另端的位置分别设有一第二导电接点及一穿孔，该第二导电接点系对应于该第一导电接点，该立柱能由该悬臂之底面贯穿该穿孔，该第二枢接部系与该第一枢接部相枢接或相连接，以使该悬臂与该支架相电气连接，且使该悬臂能以该第一枢接部作为支撑点进行上下摆动，进而使该第二导电接点与该第一导电接点相互分离或相互抵接，该立柱上套设有一弹性元件，该探针一端设有一固定部，该固定部系被夹持固定于该夹座中，且能接受该点测装置传来之电流，该探针外露于该夹座外的其余部份系朝向远离该悬臂的方向弯曲，以形成一弯折部；由于该探针除弯折部外的其余部分均夹持固定于该夹座中，故能有效增加该探针的刚性，如此，当该探针抵压至该晶圆之顶面时，该探针之弯折部将不容易变形，而能灵敏地将该晶圆传来之反作用力传递至该悬臂，并迅速地带动悬臂摆动，使电流能经由该探针有效准确地传送至晶圆上的LED晶粒，大幅提升点测装置的侦测灵敏度及定位准确性。 |
