发明名称 Vorrichtung für die Oberflächenprüfung
摘要
申请公布号 DE112008001114(T5) 申请公布日期 2010.06.10
申请号 DE200811001114T 申请日期 2008.04.25
申请人 SHIBAURA MECHATRONICS CORP. 发明人 HAYASHI, YOSHINORI;KAWAMURA, MASAO;MORI, HIDEKI
分类号 G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
主权项
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