摘要 |
Ein Grundgedanke der vorliegenden Anmeldung besteht darin, dass es in dem Fall des Bestimmens einer Lage des Objekts auf der Oberfläche möglich ist, auch Transportmechanismen für den Transport des Objekts auf der Oberfläche einzusetzen, die zu weniger reproduzierbaren Transportbewegungen führen, da die Regelung direkt auf Basis der beobachteten Bewegung im Vergleich zur gewünschten Bewegung durchgeführt werden kann. Ausführungsbeispiele unter Verwendung von Druckluft, Magnetismus und/oder Biegewellen werden beschrieben. |
申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
KRAEGELOH, STEFAN;POPP, HARALD;BERNHARD, JOSEF;FUCHS, HARALD;GAYER, MARC;LUTZKY, MANFRED;SPORER, THOMAS;BRIX, SANDRA |