| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Erhöhung der Bildauflösung und/oder der Geschwindigkeit bei der Projektion einer programmierbaren Vorlage (6) auf ein strahlungsempfindliches Substrat (17) unter Verwendung kohärenter Strahlung (2) geeigneter Wellenlänge. Ferner bezieht sich die Erfindung auf eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens. Es liegt die Aufgabe zugrunde, mehrfache Belichtungen und dazu notwendige mechanische Bewegungsvorgänge auf ein Minimum zu reduzieren, wobei ferner eine verbesserte Ortsauflösung bei der Platzierung von Strukturkanten erreicht werden soll. Hierzu wird vorgeschlagen, dass das gesamte Bild der programmierbaren Vorlage (6) simultan durch eine akustisch-optische oder elektro-optische Ablenkeinheit (11) so verschoben wird, dass mehrfache Projektionen an verschiedenen Positionen auf dem Substrat (17) auftreffen und damit ein feineres Teilraster (31) auf dem Substrat erzeugt wird.</p> |
