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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100955638(B1) 申请公布日期 2010.05.06
申请号 KR20030076535 申请日期 2003.10.30
申请人 发明人
分类号 C23C16/40;H01L27/105;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/06;H01L27/108 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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