一种硅基精抛液

摘要

本发明公开的一种硅基精抛液，涉及新材料加工领域，是由高纯氧化硅溶胶、pH调节剂和表面活性剂混合后充分搅拌而成，具有配方和制作工艺简单，且具有较高稳定性等特点，其产品可用于透镜、平板玻璃、玻壳、眼镜、表壳、显示屏等的研磨抛光，特别适用于蓝宝石化学机械抛光和微晶玻璃抛光以及硅单晶衬底材料抛光。

主权项

一种硅基精抛液，其特征在于：是由下列原料按重量份额配制、混合后充分搅拌而成：高纯氧化硅溶胶95-98PH调节剂0.5-1.5表面活性剂0.5-1。