新型多级传输机器人

摘要

本发明公开了一种新型多级传输机器人，包括驱动装置、第一级传输机械手臂及第二级传输机械手臂，其中，还包括第三级传输机械手臂，第三级传输机械手臂包括呈片状结构的基片支撑段和基片承载段，基片支撑段与基片承载段固定连接，基片承载段上安装有支撑减振机构，支撑减振机构包括支撑块，支撑块上表面呈弯折结构，弯折结构形成台阶，支撑块分别固定于基片承载段上，且支撑块的台阶之间形成承载基片的承载区，台阶上开设有凹槽，凹槽内容置有弹性橡胶带，弹性橡胶带凸出凹槽。本发明能将基片传入集束式腔体上的各个支撑腔体内，或从各个制成腔体内取出基片，制造简单，维修方便，能够满足尺寸日益增大的基片的承载需要。

主权项

一种新型多级传输机器人，适用于基片的传输，包括驱动装置、第一级传输机械手臂及第二级传输机械手臂，所述第一级传输机械手臂及所述第二级传输机械手臂均呈片状结构，所述第一级传输机械手臂与所述第二级传输机械手臂均具有第一连接部与第二连接部，所述驱动装置与所述第一级传输机械手臂的第一连接部铰接，所述第一级传输机械手臂的第二连接部与所述第二级传输机械手臂的第一连接部铰接，其特征在于：还包括第三级传输机械手臂，所述第三级传输机械手臂包括呈片状结构的基片支撑段和基片承载段，所述基片支撑段与所述基片承载段固定连接，所述基片承载段上安装有支撑减振机构，所述支撑减振机构包括至少两个支撑块，所述支撑块上表面呈弯折结构，所述弯折结构形成台阶，所述支撑块分别固定于所述基片承载段上，且所述支撑块的台阶之间形成承载基片的承载区，所述台阶上开设有凹槽，所述凹槽内容置有弹性橡胶带，所述弹性橡胶带凸出所述凹槽。