薄型基板之洗净方法及装置

摘要

本发明目的在于提供可在不发生因弯曲导致基板脱落之状态下进行洗净作业之薄型基板之洗净方法及洗净装置。又，本发明之洗净方法及装置系利用支撑薄型印刷基板、印刷配线板等薄型基板之相对边缘，固持前述基板，并对前述基板上面喷洒洗净液以洗净该上面者，其可为(i)藉由从沿着基板下面开口之排出口持续溢出液体，从下方支撑基板并同时进行前述洗净作业；或(ii)藉由使前述一对支撑部之相对侧较高而其外侧较低，再从上下方向夹持支撑基板，藉此至少在非洗净状态时将基板固持为上凸形状。

主权项

一种薄型基板之洗净方法，系利用支撑薄型印刷(print)基板、印刷配线板等薄型基板之相对边缘，以固持基板，并对基板上面喷洒洗净液以洗净该上面者，且该薄型基板之洗净方法系藉由从沿着基板下面开口之排出口持续溢出液体，从下方支撑基板并同时进行前述洗净作业者。