发明名称 |
用于光学检查湿润表面的微电子传感器件 |
摘要 |
本申请涉及用于在载体(10)的接触表面(12)处的研究区域(13)中进行光学检查的微电子传感器件和方法,其中输入光束(L1,L1′)从光源(20)发送到研究区域(13),并且其中来自研究区域(13)的输出光束(L2,L2′)由光检测器(30)检测。耦合到光检测器(30)的评估单元(50)适于根据输出光束(L2,L2′)的特性参数(例如其强度)确定研究区域(13)的湿润等级。在一个优选的实施例中,评估单元(50)适于确定接触所述接触表面(12)的液体引起的光强的变化。特别地,可以检测测试区域(14)中的湿润等级,所述测试区域位于研究区域(13)的邻近并且具有比研究区域(13)更高的粗糙度。 |
申请公布号 |
CN101688835A |
申请公布日期 |
2010.03.31 |
申请号 |
CN200880022408.1 |
申请日期 |
2008.06.24 |
申请人 |
皇家飞利浦电子股份有限公司 |
发明人 |
C·A·弗舒伦;A·H·J·英明克 |
分类号 |
G01N21/55(2006.01)I;G01N21/64(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/55(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
刘 鹏;谭祐祥 |
主权项 |
1.一种微电子传感器件,用于载体(10)的接触表面(12)处的研究区域(13)中的光学检查,包括:a)光源(20),其用于朝接触表面(12)发射输入光束(L1,L1′);b)光检测器(30),其用于确定来自接触表面(12)的输出光束(L2,L2′)的特性参数;c)评估单元(50),其用于根据确定的特性参数检测研究区域(13)的湿润等级。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |