正交环型压电加速度计

摘要

本发明提供了一种压电加速度计，其敏感元件是轴对称的，包括四个弹性臂、一个质量块和一基座，弹性臂呈折环形或弧形，四个弹性臂两两相对构成一个正交环形对称结构将质量块与基座连接起来，所述弹性臂本身由压电材料制成或者在其上对称地粘贴有压电片。该加速度计可以进行三轴测量，并且由于结构的对称性，测量轴向加速度时，横向加速度的响应被减掉；测量横向加速度时，轴向加速度响应被减掉，因此通道间的干扰被抑制到最小。本发明的三向加速度计具有灵敏度高、横向干扰小、制作工艺较简单的特点，可广泛应用于工业生产、科学研究和国防领域。

主权项

1.一种压电加速度计，包括敏感单元、电极引线、前置放大电路、外壳底座、外壳和输出电缆，其特征在于：所述敏感单元是轴对称的，其又包括四个弹性臂、一个质量块和一基座，弹性臂呈折环形或弧形，四个弹性臂两两相对构成一个正交环形对称结构将质量块与基座连接起来，所述弹性臂本身由压电材料制成或者在弹性臂上对称地粘贴有压电片。