Sensoranordnung, Verfahren zum Betrieb einer Sensoranordnung und Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung

摘要

Es wird eine Sensoranordnung, insbesondere Drucksensoranordnung, mit einem Substrat vorgeschlagen, wobei das Substrat wenigstens einen Graben auf einer ersten Seite aufweist und wobei der Graben zur Bildung eines ersten Membranbereichs auf einer der ersten Seite gegenüberliegenden zweiten Seite vorgesehen ist und wobei ferner in das Material des ersten Membranbereichs ein zweiter Membranbereich und eine Kaverne integriert sind.