| 发明名称 | 放电设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种放电设备，属于等离子体技术领域。所述放电设备包括：电极阵列，设置成圆弧状，并连接至高频脉冲电源；圆滚轴，由金属制成，并设置成与圆弧状的电极阵列同圆心，用于在接通高频脉冲电源时，在其与电极阵列之间进行放电。本发明提供的放电设备可以在大气压下产生低温均匀准辉光等离子体放电通道，可以对穿过等离子体放电区域的各种薄膜材料进行表面改性或接枝处理。 | ||
| 申请公布号 | CN101668378A | 申请公布日期 | 2010.03.10 |
| 申请号 | CN200910180039.5 | 申请日期 | 2009.10.23 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 杨景华;张超前;赵玲利;王守国 |
| 分类号 | H05H1/24(2006.01)I | 主分类号 | H05H1/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市德权律师事务所 | 代理人 | 王建国 |
| 主权项 | 1.一种放电设备，其特征在于，包括：电极阵列，设置成圆弧状，并连接至高频脉冲电源；圆滚轴，由金属制成，并设置成与圆弧状的电极阵列同圆心，用于在接通所述高频脉冲电源时，在其与所述电极阵列之间进行放电。 | ||
| 地址 | 100029北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所 | ||