一种负热膨胀材料ZrW₂O₈薄膜的制备方法

摘要

一种负热膨胀材料ZrW₂O₈薄膜的制备方法，属于无机功能薄膜材料制备技术领域，具体为：以分析纯硝酸氧锆和钨酸铵为原料，按Zr⁴⁺和W⁶⁺溶液物质的量的比1∶2互相混合，搅拌直至混合均匀，加入浓度为6～12mol/L，体积为混合液1/4～1/3的HCl继续搅拌3～6h得到混合溶液1；将混合溶液1在160～180℃时加热5～18小时，洗涤得到前驱体；对石英基片进行清洗和活化处理；在制备的前驱体中加入柠檬酸，搅拌至溶胶，利用步骤2清洗的石英基片采用旋涂法进行镀膜，保证薄膜涂覆均匀，之后将薄膜烘干；将镀有薄膜的石英基片在520～590℃热处理1～6h，即可得到纯ZrW₂O₈薄膜。本发明的降低了薄膜的热处理温度，避免薄膜与衬底成分的互扩散，制备所得薄膜纯度高，均一性好且可以控制薄膜中晶相颗粒的大小。

主权项

1、一种负热膨胀ZrW2O8薄膜的制备方法，其特征在于：采用水热法制备负热膨胀ZrW2O8薄膜。