发明名称 将从样本发出的第一和第二部分图像束合并为合成图像束的光学系统
摘要 本发明涉及一种用于将分别源于样本的第一和第二部分图像束合并成合成图像束的光学系统,其特别应用在用于检查已制备的样本的光学仪器中,提供阻挡装置,其包括用于第一和第二部分图像束的各自的可移动的阻挡元件,每个阻挡元件都具有一个或多个阻挡区域,从而通过移动阻挡元件能够将至少一个阻挡区域带到具有部分图像束的工作位置,以便更改各自的部分图像束在合成图像束中的面积比例。该阻挡装置包括用于连接这两个阻挡元件的可移动地设置的连接装置,通过该连接装置的运动,各个部分图像束在合成图像束中的相应面积比例是可更改的。
申请公布号 CN101666913A 申请公布日期 2010.03.10
申请号 CN200910171299.6 申请日期 2009.09.03
申请人 莱卡微系统CMS有限责任公司 发明人 A·米勒-伦茨
分类号 G02B27/10(2006.01)I;G02B21/18(2006.01)I 主分类号 G02B27/10(2006.01)I
代理机构 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 代理人 王 勇
主权项 1.一种用于将分别源于样本(10,20)的第一和第二部分图像束(112,122)合并成合成图像束(102)的光学系统,其特别应用在用于检查已制备的样本的光学仪器中,其中提供有阻挡装置(103),其包括用于第一和第二部分图像束(112,122)的各自的可移动的阻挡元件(115,125),每个阻挡元件都具有一个或多个阻挡区域(212-215,222-225),其中通过移动阻挡元件(115,125)能够将至少一个阻挡区域(212-215,222-225)带到具有部分图像束(112,122)的工作位置,以便更改各自的部分图像束(112,122)在合成图像束(102)中的面积比例,其特征在于该阻挡装置(103)包括用于连接这两个阻挡元件(115,125)的可移动地设置的连接装置(104),其中通过该连接装置(104)的运动,各个部分图像束(112,122)在合成图像束(102)中的相应面积比例是可更改的。
地址 德国韦茨拉尔